仪器名称： 扫描电子显微镜

型号： EVO-18

国别厂家： 英国-卡尔蔡司

主要性能指标：

1、分辨率：3.0 nm @ 30 KV (SE与W)；4.0 nm @ 30 KV (VP with BSD )

2、加速电压：0.2-30KV

3、放大倍数：5-1000000 x

4、探针电流：0.5PA-5μA

5、X-射线分析工作距离：8.5mm 35度接收角

6、低真空压力范围：10-400Pa

7、工作室：365mm(Φ) x275 mm(h)

8、5轴优中心自动样品台：X=125mmY=125mmZ=50mmT= 0- 90° R=360°

9、最大试样高度：145mm；最大试样直径：250mm

10、系统控制：基于Windows XP的SmartSEM操作系统

功能及服务范围：

主要应用在金属、陶瓷、半导体、化学、生物等领域各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体、晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。

购置日期： 2013.01

保管单位： 分析测试中心

放置地点： 躬行楼8108-2

联系人姓名：郑胜彪